И был на этой кафедре отчасти знакомый прибор, не Оже-спектрометр, но сходный, рентгеновский фотоэлектронный спектрометр (РФЭС)90. Но на нём уже плотно работали люди, образцы мерила Лена Скрылёва, с которой мы вместе работали и в прошлый раз. Она измеряла собственно образцы и учила меня управлять компом установки для получения вариантов разложения пика Si на составляющие. А я, освоив процедуру, придумывал методику для улучшения. Ещё, кажется, аж два человека периодически проводили занятия со студентами. Я на РФЭС был не особо нужен. Так, иногда посоветовать что-то по количественным аспектам анализа.
На снимке Лена Скрылёва справа, рядом с завкафедрой, с другой стороны от него две дамы, занимавшиеся параллельно и научной работой (измерениями на вторично-ионном масс-спектрометре), и административной, я сзади всех, слева и тоже сзади аспирант Иржак, как наименее значимые сотрудники кафедры.
Тем не менее, дела для меня нашлись.
Расскажу сперва про забавное недоразумение. На кафедре был профессор Семён Самуилович Горелик, очень старенький преподаватель. Доктор наук, когда-то десять лет был деканом, когда была не кафедра, а факультет полупроводниковых материалов и приборов, 25 лет возглавлял кафедру. Теперь – здоровье уже не то –только читал курс введения в специальность. (Он потом умер, в 2007 году. Похороны были очень торжественные и очень, очень многолюдные). Увидев меня, должно быть, принял за аспиранта, или ещё за какого-то приставленного к нему молодого помощника, и сунул проверять пачку контрольных. Видимо, с точки зрения его возраста (он 1911 года рождения) мой выглядел вдвое меньше действительного. Причём слышал он плохо, и пытаться объяснять ему ошибку я не стал. Проверил контрольные и отдал, это проще, чем искать, кто на самом деле должен их проверять.
Вдобавок эта проверка оказалась интересным делом. Во-первых, виден не только факт списывания – чётко видно, кто у кого списал. Например, один студент пишет латинское n со слишком длинным хвостиком, не совсем таким, как у греческой η, но почти. И надо же было такому случиться, что в задаче были обе эти буквы. Атомная плотность n (в кол-ве атомов на см3) и плотность упаковки кристаллической решётки η (безразмерная величина). Сам-то писавший их различал, а вот списывавший перепутал. В результате у него и в условиях задачи уже задана величина η, и в процессе решения он её же отыскивает, причём число уже другое. Но не обращает на это внимания, видимо, не включая в процессе списывания головной мозг… Другой студент получил η = 1,15, что абсолютно невозможно. Если бы атомы имели форму кубиков, они могли бы уложиться в решётке с плотностью η = 1, заполняя весь объем и не оставляя пустого места, но даже для кубиков заполнить объем на 115% – это чересчур. Подивился я на эту цифру и стал проверять дальше. А дальше мне встретилась η = 1,6. Т.е. при решении задачи человек не представлял себе, что эти цифры чему-то реальному соответствуют. И что полученная им величина абсолютно невозможна. Похоже, подумал я, эти вот не особо интересуются выбранной профессией. А потом такие же люди, занимающиеся не своим делом, пишут бюллетени выборов, где «за» проголосовало 149 % избирателей.
Завкафедрой, видимо, считал себя мне морально обязанным, и вот почему. По итогам нашей совместной научной работы вышло несколько статей, это я знал, но как бы ну и что? Получили вместе результаты, вместе напечатались, всем хорошо. Но постепенно оказалось, что моё влияние было гораздо больше. Непреднамеренно. Выведенные мной формулы для скрытого оксинитрида кремния были применены не только в моём диссере и в совместных статьях. (А ещё до моего диссера – в диссерах Данилина и того самого уцелевшего от состава московской лаборатории ИПТМ сотрудника, защитившихся раньше меня). Они попали, оказывается, и в диссер завкафедрой, и в диссер его аспиранта, хотя в них речь шла не об оксинитриде кремния, а о каком-то, кажется, силициде железа, или более сложном веществе, впрочем, теперь уже не уверен, подробно не вникал. Во всяком случае, у меня осталось впечатление, что то вещество было проводником и его намеревались использовать в микросхемах как проводник. Не знаю, какие у него намечались преимущества перед обычными проводниками, медью, серебром, золотом или, скажем, оксидом олова. И зачем его получать имплантацией в глубине микросхемы. Но то, что это проводник, должно было как-то, мне кажется, повлиять на возможность применения к нему того, что я выводил для ярко выраженного диэлектрика. Впрочем, не знаю. Честно говоря, когда я это случайно узнал, то не стал разбираться, правильно ли они применили мои формулы. А вдруг неправильно?..
