Единственная крупная битва между египтянами и их врагами произошла весной 525 г. до н. э. у границ Египта, и в ней обе стороны понесли тяжелые потери. Египтянам пришлось отступить в свой самый крупный город Мемфис и через некоторое время после этого сдаться победителю. Камбиз был официально признан египетским царем и основал новую (XXVII) династию фараонов. Он короновался по египетским обычаям, приняв титул «царь Египта, царь стран», и получил право участвовать в местных религиозных церемониях и приносить жертвы египетским богам. Следуя политике, установившейся при его отце Кире, Камбиз предоставил египтянам свободу в религиозной и частной жизни. Юридические и административно-хозяйственные документы, датированные временем его правления, свидетельствуют о том, что военные действия не нанесли значительного ущерба экономической жизни страны.
Во время пребывания Камбиза в Египте в Персии в марте 522 г. до н. э. произошел переворот. Если верить официальным источникам, к власти пришел маг (т. е. мидийский жрец) по имени Гаумата, который выдавал себя за младшего сына Кира Бардию. Те же источники утверждают, что на самом деле Бардия был убит по секретному распоряжению самого Камбиза еще за несколько лет до этого. Получив известие о событиях на своей родине, Камбиз направился туда с частью своего войска, но скончался в пути при загадочных обстоятельствах.
Гаумата (если он действительно являлся самозванцем) получил всеобщее признание подданных империи, однако после семимесячного правления 29 сентября 522 г. до н. э. погиб от рук знатных персов во главе с Дарием, принадлежавшим к боковой линии Ахеменидов. Некоторое время между заговорщиками шли споры относительно того, кому стать царем. В этих спорах победителем вышел Дарий. Сразу после этого вспыхнуло восстание в Вавилонии. Пока Дарий был занят там карательными действиями, восстали Персия, Элам, Маргиана, Парфия и многие другие страны. Мятежи продолжались более года. В самой Персии во главе восставших был некий Вахъяздата, которому удалось установить свой контроль над восточноиранскими областями. После того как Дарий подавил мятежи в Вавилонии и Персии, против него поднялся Элам. Особенно опасным оказалось восстание в Мидии под руководством некого Фравартиша, претендовавшего на происхождение из рода мидийского царя Киаксара. Продолжительные восстания полыхали также в Армении, ими были охвачены и Парфия вместе с Гирканией, сатрапом которых являлся отец Дария Виштаспа. Самым массовым стало восстание в Маргиане, во время которого, по словам Дария, было убито более 55 тыс. мятежников. В августе 521 г. до н. э. вавилоняне сделали новую попытку отвоевать независимость, но через пять месяцев их руководители были захвачены и казнены. Волнения продолжались и в других странах. В 520 г. до н. э. эламиты снова (в третий раз) вышли из повиновения.
Подавив все эти мятежи, Дарий I приступил к сооружению величественного памятника с рассказом о своих победах и триумфе над мятежниками. Это рельеф и надпись, высеченные на отвесной скале на высоте 105 м на Бехистунской горе (в 30 км от Хамадана). Надпись составлена на древнеперсидском, эламском и аккадском (вавилонском) языках и содержит описание этих событий. Переведенная на многие другие языки, она была разослана во «все страны», о чем сообщается в ней самой. Ее отрывки известны из Египта на арамейском языке и из Вавилона на аккадском.
Над надписью возвышается рельеф высотой 3 м и длиной 5,48 м. Над всеми фигурами парит бог Ахура-Мазда, протягивая левую руку с кольцом к Дарию, тем самым вручая ему власть, а другой рукой он благословляет его. Сам Дарий изображен в натуральную величину (1,72 м). Правая рука его поднята в молитвенном жесте к Ахура-Мазде, а в левой руке он держит лук. Слева, за спиной Дария, находятся двое его придворных. Сам он попирает ногой лежащего Гаумату, за которым изображены восемь главарей мятежных народов и вождь сакского племени тиграхауда, который был пленен во время похода против этого народа в 519 г. до н. э. Руки их всех связаны за спиной, и они прикованы друг к другу одной длинной цепью.
